전자현미경 부품 세트
전자원: 자유 전자를 방출하는 음극이며 고리 모양의 양극은 전자를 가속합니다. 음극과 양극 사이의 전압 차이는 일반적으로 수천 볼트에서 300만 볼트 사이로 매우 높아야 합니다.
전자: 전자를 집중시키는 데 사용됩니다. 일반적으로 자기렌즈를 사용하며 간혹 정전렌즈를 사용하기도 한다. 전자렌즈의 기능은 광학현미경에서 광학렌즈의 기능과 동일하다. 광학렌즈의 초점은 고정되어 있지만 전자렌즈의 초점은 조절이 가능하기 때문에 전자현미경은 광학현미경처럼 움직이는 렌즈계가 없다.
진공 장치: 진공 장치는 전자가 경로에서 흡수되거나 편향되지 않도록 현미경 내부의 진공 상태를 보장하는 데 사용됩니다.
샘플 홀더: 샘플 홀더에 샘플을 안정적으로 놓을 수 있습니다. 또한 샘플을 변경하는 데 사용할 수 있는 장치(예: 이동, 회전, 가열, 냉각, 연신 등)가 종종 있습니다.
검출기: 전자를 수집하는 데 사용되는 신호 또는 이차 신호. 시료의 투영은 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy TEM)을 이용하여 직접 얻을 수 있다. 이 현미경에서는 전자가 샘플을 통과하므로 샘플이 매우 얇아야 합니다. 샘플을 구성하는 원자의 원자량, 전자가 가속되는 전압 및 원하는 분해능이 샘플의 두께를 결정합니다. 샘플의 두께는 수 나노미터에서 수 마이크로미터까지 다양합니다. 원자 질량이 높을수록 전압이 낮을수록 샘플이 얇아져야 합니다.
대물렌즈의 렌즈 시스템을 변경하면 대물렌즈의 초점에서 이미지를 직접 확대할 수 있습니다. 이것으로부터 전자 회절 이미지를 얻을 수 있습니다. 이 이미지를 사용하여 샘플의 결정 구조를 분석할 수 있습니다.
EFTEM(Energy Filtered Transmission Electron Microscopy)에서 사람들은 전자가 샘플을 통과할 때 전자의 속도 변화를 측정합니다. 이를 통해 시료의 화학 원소 분포와 같은 시료의 화학 조성을 유추할 수 있습니다.
