주사전자현미경의 장점
1. 배율
주사전자현미경의 형광면의 크기는 고정되어 있기 때문에 시료 표면의 전자빔의 주사진폭을 변화시켜 배율의 변화를 구현한다.
스캐닝 코일의 전류가 감소하면 샘플에 대한 전자빔의 스캐닝 범위가 줄어들고 배율이 증가합니다. 조정이 매우 편리하며 20회에서 약 200000회까지 연속적으로 조정할 수 있습니다.
2. 해상도
해상도는 SEM의 주요 성능 지표입니다.
분해능은 입사 전자빔의 직경과 변조 신호 유형에 따라 결정됩니다.
전자빔 직경이 작을수록 해상도가 높아집니다.
이미징에 사용되는 물리적 신호마다 해상도가 다릅니다.
예를 들어, SE 및 BE 전자는 샘플 표면에서 방출 범위가 다르고 해상도가 다릅니다. 일반적으로 SE의 해상도는 약 5-10 nm이고 BE의 해상도는 약 50-200 nm입니다.
3. 심도
렌즈가 불균일한 샘플의 다양한 부분에 동시에 초점을 맞추고 이미징할 수 있는 기능의 범위를 나타냅니다.
주사전자현미경의 최종 렌즈는 작은 개구각과 긴 초점거리를 채택하여 일반 광학현미경보다 100-500배, 일반 광학현미경보다 10배 큰 심도를 얻을 수 있다. 투과전자현미경의 그것.
넓은 피사계 심도, 강한 입체감, 사실적인 형태는 SEM의 뛰어난 특징입니다.
SEM용 시편은 두 가지 범주로 나뉩니다.
도 1은 전도도가 좋은 시료로서 일반적으로 원래의 형태를 유지할 수 있고 약간의 세척 없이 또는 약간의 세척만으로 전자현미경으로 관찰할 수 있다.
2. 비전도성 샘플 또는 수분 손실, 가스 방출, 수축 및 진공 상태에서 변형되는 샘플은 관찰하기 전에 적절하게 처리해야 합니다.
