공구측정현미경의 교정방법
측정 도구 현미경의 기계 디버깅과 관련하여 응용 관점에서 볼 때 주로 스테이지 레벨 조정, 작업대의 충격 방지 조정, 접안 렌즈 미터 라인 레벨 조정, 레벨 조정이 포함됩니다. 비디오 시스템 및 정확도 보정 등. 다음은 한 번 요약된 내용입니다.
1. 스테이지 레벨 조정: 스테이지에 배치된 레벨에 따라 스테이지가 수평으로 설치되었는지 여부를 판단합니다. 필요한 경우 레벨의 기포가 중앙 근처의 눈금자에 머물 때까지 실제 상황에 따라 세 개의 지지 다리를 조정합니다.
2. 작업대의 진동 방지 조정: 기계를 켰을 때 데이터 표시의 데이터가 불안정한 경우 작업대가 충분히 안정적이지 않은 것으로 판단할 수 있으며 작업대에 진동 방지 패드를 추가하여 완료할 수 있습니다. 작업대를 교체하고 더 강한 작업대로 교체합니다.
3. 접안렌즈 십자형 선의 수평 조정: 초점이 명확한 접안렌즈 시야 내에서 눈에 띄는 작은 점을 찾아 접안렌즈 십자선의 한쪽 끝으로 이동합니다(X 및 Y 방향은 허용되며, 여기서는 X 방향을 힘으로 사용합니다) 정렬한 후 핸들을 X 방향으로 흔들어 작은 점이 X 방향 표시선을 벗어나면 작은 점이 X 방향 표시선을 따라 반대쪽 끝으로 이동하도록 합니다. , 해당 방향으로 접안렌즈를 조정하여 작은 점이 X 방향 표시 선에 가까워지도록 합니다. 이렇게 하면 스테이지가 X 방향을 따라 이동할 때 작은 점이 항상 X 방향 표시 선에 머물 수 있을 때까지 디버깅을 반복합니다. .
4. 비디오 시스템의 레벨 조정: (현미경에 회전 테이블이 장착되어 있지 않고 사용자가 주파수 변조 시스템을 통해 구성 요소의 레벨을 조정해야 하는 경우를 제외하고 이 항목은 일반적으로 조정할 필요가 없습니다.) 표준 블록을 가져옵니다. 측정하여 회전 테이블에 놓고 조정된 접안렌즈를 사용하여 전체 블록을 라이스 워드 라인 수준으로 조정합니다. CCD(비디오 시스템)와 비디오 인터페이스를 조이고 현미경 인터페이스에 연결한 후 잠급니다. 소프트웨어 창에서 블록 게이지의 한쪽 끝을 십자선 X 방향의 끝으로 이동하고 X를 흔듭니다. 축 핸들을 사용하면 소프트웨어가 블록 게이지의 다른 쪽 끝을 볼 수 있습니다. 퀵 게이지가 X축에서 벗어나면 CCD를 회전시켜 블록 게이지가 X축에 접근하도록 합니다(이 조정 방법은 접안렌즈 조정 방법과 동일합니다). 블록 게이지가 항상 X 방향을 따라 이동할 때까지 이러한 방식으로 조정을 반복하면 이때 CCD의 물리적 좌표계가 현미경 스테이지의 기계적 좌표계와 평행하다고 간주할 수 있습니다.
