기존의 광학 현미경 및 전자 현미경과 비교할 때 원자력 현미경의 분해능을 제한하는 요소는 무엇입니까?
전통적인 광학 현미경의 분해능은 빛의 회절 한계에 의해 제한되며 최소 분해 거리는 빛 파장의 절반입니다. 전자 현미경의 분해능도 회절 한계에 의해 제한되며 최소 분해능은 전자 드 브로이 파장의 절반이므로 전자 현미경은 기존 광학 현미경보다 높은 분해능을 얻을 수 있습니다.
원자력현미경의 분해능은 주로 다음에 따라 달라집니다. 프로브 팁의 크기; 마이크로 캔틸레버의 탄성 계수, 탄성 계수가 낮을수록 원자력 현미경의 감도가 높아집니다. 레이저 광의 길이에 대한 캔틸레버의 길이의 비율; 스폿 위치에 대한 검출기 PSD의 감도. 특정 해상도를 가진 이미지의 경우 스캐닝 범위가 작을수록 표면 지형이 더 미세해집니다.
