금속현미경 교정사업 수립
(1) 대물렌즈를 설치하고 작업대 위에 0.01mm 표준 마이크로미터를 놓고 단단히 누릅니다. 초점 손잡이를 돌려 초점을 마이크로미터 중앙으로 조정하고 시야 중앙에서 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. 이때 다이얼 게이지 헤드를 작업대 표면에 접촉시켜 미터의 영점 위치에 맞춥니다.
다시 회전하여 초점을 맞추고 마이크로미터 가장자리에 초점을 조정하면 시야 가장자리 이미징이 선명해집니다.
다이얼 게이지를 관찰하면 최대 오프셋은 대물 렌즈의 필드 곡률 오류이며 다른 대물렌즈는 이에 따라 보정됩니다. 대물렌즈의 필드 곡률 오류에 대한 표시는 다음과 같습니다: 10X<0.2mm, 25X<0.1mm, 40X<0.07mm, 63X<0.065mm, 100X<0.04mm
(2) 대물렌즈 배율의 정확성: 10X 표준 접안렌즈와 테스트 대상 대물렌즈를 설치하고 0.01mm 표준 마이크로미터를 작업대 위에 놓고 단단히 누릅니다. 관찰할 때 마이크로미터는 접안렌즈의 십자선과 일치해야 하며 오프셋 측정은 배율의 오류입니다. 다른 대물렌즈는 이 방법을 사용하여 보정되며 오류는 5%를 초과하지 않습니다.
(3) 접안 렌즈 레티클의 정확도: 레티클을 사용하여 접안 렌즈의 렌즈를 회전시키고 레티클을 범용 디스플레이의 작업대에 놓고 초점 거리를 조정합니다. 분할판의 수평선이 범용 디스플레이의 세로 가이드 레일 스트로크와 평행하고 영점 위치에 정렬되도록 작업대를 조정합니다. 100번째 그리드까지 20개의 그리드마다 측정하고, 오차는 5um을 초과해서는 안 됩니다.
(4) 대물렌즈의 선명한 이미징 범위는 마이크로미터 또는 금속 조직 샘플을 테스트된 대물렌즈와 10X 접안렌즈로 초점을 맞춰 명확한 이미징을 보장함으로써 달성됩니다. 시야의 중앙 이미지가 선명한 경우 시야 내에서 측정된 이미징 선명도 범위의 오류는 60% 이상이어야 합니다.
(5) 접안렌즈를 기준으로 각 대물렌즈의 그리드 값에 테스트 기기의 10X 접안렌즈를 설치하고 0.01mm 표준 마이크로미터를 배치합니다(임의의 사용을 권장함). 0.01mm 마이크로미터)를 작업대에 놓고 단단히 누르십시오.
마이크로미터 눈금의 축을 장비의 접안렌즈 십자선 축과 평행하게 조정하고 접안렌즈 십자선의 i 십자선에 포함된 n 마이크로미터 눈금선의 수를 판독합니다. 접안렌즈에 대한 대물렌즈의 상대 그리드 값은 C{{0}}n/i * 0.01mm입니다. 다른 대물렌즈의 그리드 값은 이에 따라 보정됩니다.
