공초점 현미경은 몇 나노미터까지 볼 수 있나요?
재료 과학의 목표는 재료의 표면 구조가 표면 특성에 미치는 영향을 연구하는 것입니다. 따라서 고해상도에서 표면 지형을 분석하는 것은 표면 거칠기, 반사 특성, 마찰 특성 및 표면 품질과 관련된 매개변수를 결정하는 데 중요합니다. 공초점 기술은 표면 반사 특성이 다양한 재료를 측정하고 효과적인 측정 데이터를 얻을 수 있습니다.
공초점 기술의 원리를 바탕으로 한 레이저 공초점 현미경은 다양한 정밀 기기 및 재료의 표면을 마이크로 및 나노 단위로 측정하는 검사 장비입니다. 높은 측정 분해능은 0.5nm에 이릅니다.
응용
1.멤스
마이크론 및 서브 마이크론 부품의 치수 측정, 다양한 공정(현상, 에칭, 금속화, CVD, PVD, CMP 등) 후 표면 형태 관찰, 결함 분석.
2. 정밀 기계 부품, 전자 장치
마이크론 및 서브 마이크론 부품의 치수 측정, 다양한 표면 처리 공정 후 표면 형태 관찰, 납땜 공정, 결함 분석, 입자 분석.
3.반도체/LCD
각종 공정(현상, 식각, 금속화, CVD, PVD, CMP 등) 후 표면 형상 관찰, 결함 분석 비접촉 선폭, 단차 깊이 등 측정
4. 마찰학, 부식 및 기타 표면 공학
서브미크론 표면 엔지니어링 후 마모 흔적의 부피 측정, 거칠기 측정, 표면 지형, 부식 및 표면 지형.
기술 사양
모델: VT6100
스트로크 범위: 100*100*100mm
시야 범위: 120×120μm~1.2×1.2mm
높이 측정 반복성(1σ): 12nm
높이 측정 정확도: ± (0.2+L/100) μm
높이 측정 분해능: 0.5 nm
폭 측정 반복성(1σ): 40nm
폭 측정 정확도: ± 2%
폭 측정 분해능: 1nm
