전자현미경 구성 원리
전자 현미경은 미러 배럴, 진공 시스템 및 전원 캐비닛의 세 부분으로 구성됩니다. 렌즈 배럴에는 주로 전자총, 전자 렌즈, 샘플 홀더, 형광 스크린, 카메라 메커니즘 및 기타 구성 요소가 있으며 이러한 구성 요소는 일반적으로 위에서 아래로 기둥으로 조립됩니다. 진공 시스템은 기계식 진공 펌프, 확산 펌프 및 진공 밸브로 구성되며 펌핑 파이프를 통해 렌즈 배럴과 연결됩니다. 전원 공급 장치 캐비닛은 고전압 발생기, 여자 전류 조절기 및 다양한 조절 제어 장치로 구성됩니다.
전자렌즈는 전자현미경 배럴의 가장 중요한 부분으로, 공간 전기장이나 자기장의 배럴 축과 대칭을 이루므로 전자가 초점을 맞추는 축을 형성하는 유리의 역할을 추적합니다. 빛의 광선을 집속시키는 역할을 하는 볼록렌즈는 유리의 역할과 유사하여 전자렌즈라 불린다. 대부분의 현대 전자 현미경은 전자를 집중시키기 위해 강한 자기장에 의해 생성된 극 슈가 있는 코일을 통해 매우 안정적인 DC 여기 전류에 의해 전자기 렌즈를 사용합니다.
전자총은 텅스텐 열음극과 게이트, 음극으로 구성된 부품이다. 균일한 속도로 전자빔을 방출하여 형성하므로 가속전압의 안정성이 1/10000 이상이어야 합니다.
전자현미경은 구조와 용도에 따라 투과전자현미경, 주사전자현미경, 반사전자현미경, 방출전자현미경으로 나눌 수 있다. 투과전자현미경은 일반 현미경으로는 물질의 미세한 구조를 구별할 수 없는 관찰을 위해 자주 사용됩니다. 주사형 전자현미경은 주로 고체 표면의 형태를 관찰하는 데 사용되지만, X선 회절계나 전자 분광계를 결합하여 전자빔의 산란에 의해 원자 시료가 형성된 전자 마이크로를 구성하기도 합니다. 샘플의 얇거나 밀도가 낮은 부분은 전자빔의 산란이 적기 때문에 더 많은 전자가 대물렌즈 라이트 바를 통과하여 이미징에 참여하여 이미지에서 더 밝게 나타납니다. 반대로 샘플의 두껍거나 밀도가 높은 부분은 이미지에서 더 어둡게 나타납니다. 샘플이 너무 두껍거나 조밀하면 이미지의 대비가 저하되고 전자빔의 에너지를 흡수하여 이미지가 손상되거나 파괴될 수도 있습니다.
전자현미경의 용도
전자현미경은 구조와 용도에 따라 투과전자현미경, 주사전자현미경, 반사전자현미경, 방출전자현미경으로 나눌 수 있다. 투과전자현미경은 일반 현미경으로는 물질의 미세한 구조를 구별할 수 없는 관찰을 위해 자주 사용됩니다. 주사 전자 현미경은 주로 고체 표면의 형태를 관찰하는 데 사용되지만 X선 회절계 또는 전자 분광계를 결합하여 전자 현미경을 형성하여 재료 구성 분석에 사용됩니다. 전자의 자기 방출 표면 연구를 위한 방출 전자 현미경.
