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단색 대물렌즈란?

Jan 19, 2023

단색 대물렌즈란?

 

이러한 대물렌즈는 석영, 형석 또는 불화리튬으로 만든 단일 렌즈 세트로 구성됩니다. 자외선 스펙트럼 영역(폭 20mm를 초과하지 않음)의 개별 영역에서만 사용할 수 있으며 단색 대물 렌즈는 가시 스펙트럼 영역에서 사용할 수 없습니다. 이러한 대물렌즈는 반사 및 카타디옵트릭 시스템으로 만들어집니다. 주요 단점은 빔의 상당 부분이 중앙(입사 동공 영역의 25%)에서 차단된다는 것입니다. 새로운 catadioptric 시스템에서는 반투명 거울과 대물 렌즈의 접착 구조로 인해 이러한 단점이 크게 완화되어 거울 프레임의 음영을 상쇄할 수 있습니다. 그리고 2개의 동축 미러의 잔류 수차는 상호 보상되고 개구수는 렌즈 그룹에 의해 증가됩니다. 시스템의 보정이 만족스러운 경우 조리개가 NA=1.4에 도달할 때 중앙 폐색은 입사 동공 영역의 4%를 초과할 수 없습니다.

 

2 Electronic microscope

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