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광학현미경(OM)을 이용한 분석

Jan 30, 2024

광학현미경(OM)을 이용한 분석

 

기술 원리
광학 현미경의 이미징 원리는 가시광선을 사용하여 테스트 조각의 표면을 조명하여 국부적인 산란 또는 반사를 유발하여 다양한 대비를 형성하는 것입니다. 그러나 가시광선의 파장은 {{0}} 옹스트롬만큼 높기 때문에 시스템의 분해능(또는 판별률, 분해능 에너지)은 두 점을 구별할 수 있는 최단 거리를 말하며, 당연히 최악입니다. 정상 작동 시 육안 식별률은 0.2mm에 불과하므로 광학 현미경의 최적 분해능이 0.2um에 불과할 때 이론상 최대 배율은 1000배에 불과한 최대 규모의 이미징 시스템이며, 이는 광학 현미경을 사용한 관찰이 실제로 여전히 많은 예비 구조 정보를 제공할 수 있음을 보여줍니다.


기계 유형


분석적 응용
광학 현미경의 배율과 해상도는 많은 재료의 표면 관찰 요구를 충족할 수 없지만 다음과 같은 응용 분야에서는 여전히 널리 사용됩니다.


부품 단면 구조 관찰;


평면 지연 구조 분석 및 관찰;


침전물 자유지대 관찰;


불량한 정렬 및 오버에칭(Overetch) 함몰 관찰;


OSF(Oxidation Enhanced Stacking Faults) 등에 관한 연구


광학 현미경의 최대 배율은 얼마입니까?
광학 현미경 배율은 주로 대물렌즈를 사용하여 실제로 물체를 확대하고, 접안렌즈는 대물렌즈로 확대된 이미지를 2차 확대합니다. 광학현미경의 대물렌즈는 100배까지만 갈 수 있고, 접안렌즈는 10배까지만 갈 수 있습니다.
16회


최대 접안렌즈는 20x입니다. 따라서 대물렌즈가 100배, 접안렌즈가 20배일 때 총 배율은 2000배에 달할 수 있습니다. 그러나 2000배는 수치적인 2000배일 뿐, 실제 확대율인 2000배는 아닙니다. 예를 들어 접안렌즈가 10배인 경우 대물렌즈는 100배이고 총 배율은 1000배입니다. 왜냐하면 실제 배율 대물렌즈는 여전히 100배이지만 접안렌즈는 10배에서 20배로 변경되기 때문입니다. 2000번 본다


1000배, 2배의 차이가 나지만 실제로는 10배의 차이에 불과합니다.

 

2 Electronic Microscope

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