원자력현미경과 그 응용
원자력현미경은 주사터널링현미경의 기본원리에서 발전된 주사탐침현미경이다. 원자력현미경의 등장은 의심할 여지 없이 나노기술의 발전을 촉진하는 역할을 해왔다. 원자력현미경으로 대표되는 주사탐침현미경은 작은 탐침을 이용하여 시료의 표면을 스캔하여 고배율 관찰을 제공하는 일련의 현미경의 총칭이다. AFM 스캐닝은 다양한 유형의 샘플의 표면 상태에 대한 정보를 제공할 수 있습니다. 기존 현미경과 비교하여 원자력 현미경의 장점은 대기 조건에서 시료 표면을 고배율로 관찰할 수 있고 거의 모든 시료(표면 마감에 대한 특정 요구 사항 있음)에 사용할 수 있으며 시료 표면을 다른 샘플 준비 없이 얻은. 의 3D 이미지입니다. 또한 스캔한 3D 지형 이미지에 대해 조도 계산, 두께, 단차 폭, 블록 다이어그램 또는 입자 크기 분석을 수행할 수 있습니다.
AFM은 많은 샘플을 감지할 수 있으며 기존의 스캐닝 표면 거칠기 미터 및 전자 현미경으로는 제공할 수 없는 표면 연구 및 생산 제어 또는 공정 개발을 위한 데이터를 제공할 수 있습니다.
원자력현미경의 특징
1. 주사전자현미경(SEM) 및 광학 조도계를 훨씬 능가하는 고해상도 성능. 샘플 표면의 3차원 데이터는 연구, 생산 및 품질 검사의 점점 더 미시적인 요구 사항을 충족합니다.
2. 비파괴, 프로브와 샘플 표면 사이의 상호 작용력은 10-8N 미만으로 이전 스타일러스 조도 측정기의 압력보다 훨씬 낮아 샘플을 손상시키지 않으며, 주사 전자 현미경에서 전자빔 손상의 문제가 없습니다. 또한 주사전자현미경은 비전도성 시료의 코팅이 필요하지만 원자력현미경은 그렇지 않습니다.
3. 표면관찰, 입도측정, 표면조도측정, 입도분석, 돌기, 오목부의 통계처리, 성막조건의 평가, 보호층 입도단계의 측정, 평탄도 등 폭넓은 용도에 사용할 수 있습니다. 층간 절연막 평가, VCD Coating 평가, 배향막 마찰 처리 공정 평가, 결함 분석 등
4. 이 소프트웨어는 강력한 처리 기능을 가지고 있으며 3차원 이미지 표시 크기, 시야각, 표시 색상 및 광택을 자유롭게 설정할 수 있습니다. 그리고 네트워크, 등고선, 선 표시를 선택할 수 있습니다. 이미지 처리, 단면 형상 및 거칠기 분석, 지형 분석 및 기타 기능의 매크로 관리.
