전자 현미경의 구조 소개
전자 현미경은 렌즈 배럴, 진공 시스템 및 전원 공급 캐비닛의 세 부분으로 구성됩니다. 렌즈 배럴은 주로 전자총, 전자 렌즈, 샘플 홀더, 형광 스크린 및 카메라 메커니즘을 포함합니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 위에서 아래로 기둥으로 조립됩니다. 진공 시스템은 기계식 진공 펌프, 확산 펌프 및 진공 밸브로 구성됩니다. 가스 파이프라인은 렌즈 배럴과 연결되어 있으며 전원 캐비닛은 고전압 발생기, 여기 전류 안정기 및 다양한 조정 제어 장치로 구성됩니다.
◆전자렌즈
전자 렌즈는 전자 현미경 렌즈 배럴의 가장 중요한 부분입니다. 렌즈 배럴의 축에 대칭인 공간 전기장 또는 자기장을 사용하여 전자 트랙을 축으로 구부려 초점을 형성합니다. 그 기능은 유리 볼록 렌즈가 빔을 집속시키는 것과 유사하므로 전자라고합니다. 렌즈. 대부분의 최신 전자 현미경은 폴 슈가 있는 코일을 통과하는 매우 안정적인 DC 여기 전류에 의해 생성된 강한 자기장을 통해 전자의 초점을 맞추는 전자기 렌즈를 사용합니다.
◆전자총
전자총은 텅스텐 필라멘트 열음극, 그리드 및 음극으로 구성된 구성 요소입니다. 균일한 속도로 전자빔을 방출 및 형성할 수 있으므로 가속 전압의 안정성은 1/10000 이상이어야 합니다.
