전자 현미경은 여러 부분으로 구성되어 있습니다.
전자 현미경은 렌즈 배럴, 진공 장치 및 전원 공급 캐비닛의 세 부분으로 구성됩니다.
1. 렌즈 배럴은 주로 전자 소스, 전자 렌즈, 샘플 홀더, 형광 스크린 및 검출기를 포함합니다. 이러한 구성 요소는 일반적으로 위에서 아래로 실린더로 조립됩니다.
전자 렌즈는 전자를 집중시키는 데 사용되며 전자 현미경 배럴에서 가장 중요한 구성 요소입니다. 일반적으로 자기렌즈를 사용하며 간혹 정전렌즈를 사용하기도 한다.
2. 진공 장치는 전자가 경로에서 흡수되거나 편향되지 않도록 현미경의 진공 상태를 보장하는 데 사용됩니다. 기계식 진공 펌프, 확산 펌프 및 진공 밸브로 구성되며 배기관을 통해 렌즈 경통에 연결됩니다.
3. 전원 캐비닛은 고전압 발생기, 여자 전류 안정기 및 다양한 조정 제어 장치로 구성됩니다.
