전자현미경 구조 및 영상원리
전자 현미경은 미러 배럴, 진공 시스템 및 전원 캐비닛의 세 부분으로 구성됩니다. 배럴은 주로 전자총, 전자 렌즈, 샘플 홀더, 형광 스크린 및 사진 메커니즘으로 구성되며 일반적으로 위에서 아래로 기둥으로 조립됩니다. 진공 시스템은 기계식 진공 펌프, 확산 펌프 및 진공 밸브 등으로 구성되며 펌핑 파이프 라인을 통해 배럴과 연결됩니다. 전원 공급 장치 캐비닛은 고전압 발생기, 여자 전류 안정기 및 다양한 조절 제어 장치로 구성됩니다.
◆전자렌즈
전자렌즈는 전자현미경 튜브의 가장 중요한 부분으로, 튜브 축에 대칭인 공간 전기장 또는 자기장을 사용하여 전자가 볼록 유리의 초점 형성 축에 추적되도록 합니다. 빛의 광선을 집중시키는 역할을 하는 렌즈와 유사하므로 전자렌즈라 부른다. 현대 전자현미경의 대부분은 전자기 렌즈를 사용하는데, 전자는 폴 슈가 있는 코일을 통해 매우 안정적인 DC 여기 전류에 의해 생성된 강한 자기장에 의해 집중됩니다.
◆전자총
전자총은 텅스텐 열음극, 게이트, 음극으로 구성된 부품이다. 균일한 속도로 전자빔을 방출하여 형성하므로 가속전압의 안정성은 1/10000 이상이어야 합니다.
[이미징 원리
■광학현미경 이미징 원리
관찰할 물체가 초점 근처의 대물렌즈 초점 바깥에 있을 때, 접안렌즈 초점 근처의 접안렌즈 초점 바로 안쪽에 형성된 실상의 대물렌즈가 다시 접안렌즈를 확대하여 가상 이미지. 관찰되는 것은 2배 확대 후 반전된 가상 이미지입니다.
■ 전자현미경 이미징 원리
전자현미경은 전자광학의 원리를 바탕으로 광선과 광학렌즈 대신에 전자빔과 전자렌즈를 사용하여 재료의 미세한 구조를 매우 높은 배율로 관찰할 수 있는 이미징 장비입니다.
전자현미경의 분해능은 분해할 수 있는 인접한 두 점 사이의 최소 거리로 표현됩니다. 1970년대 투과형 전자현미경의 분해능은 약 0.3나노미터( 인간의 눈의 해상력은 약 0.1mm입니다. 요즘 전자현미경의 최대 배율은 300만배 이상인 반면, 광학현미경의 최대 배율은 약 2000배에 달해 특정 중금속의 원자와 결정을 직접 관찰할 수 있다. 원자점들이 깔끔하게 배열된 전자현미경.
