광학 현미경 (OM) 분석
광학 현미경의 이미징 원리는 가시 광선을 사용하여 시편의 표면을 조사하여 국소 산란 또는 반사가 다른 대비를 형성하는 것입니다. 그러나 가시 광선의 파장이 {{0}} Angstroms만큼 높기 때문에 분해능 (또는 해결할 수있는 두 지점 사이의 가장 가까운 거리를 참조하는 차별, 해상도)에서 당연히 최악입니다. 정상 작동 하에서, 광학 현미경의 최적 해상도가 0.2 UM 일 때 0. 그러나, 시야 분야는 실제로 다양한 이미징 시스템 중에서 가장 크기 때문에 광학 현미경 관찰이 여전히 많은 예비 구조 데이터를 제공 할 수 있음을 나타냅니다.
기계 유형
분석 응용 프로그램
광학 현미경의 배율 및 해상도는 많은 재료 표면 관찰의 요구를 충족시킬 수 없지만 다음과 같은 다양한 응용 분야에서 여전히 널리 사용됩니다.
성분의 단면 구조의 관찰;
평면 지연기 구조의 분석 및 관찰;
침전물을위한 침전제 자유 구역의 관찰;
차동 배선 및 에칭 된 움푹 들어간 곳의 관찰;
산화 강화 강화 스태킹 결함 (OSF)에 대한 연구.
