이중 빔 현미경에 사용되는 장비는 주로 표면 거칠기를 측정하는 데 사용됩니다. 또한 투명 및 반투명 오버레이, 특히 알루미늄의 양극 산화 필름의 두께를 측정하는 데 사용할 수 있습니다.
기기는 오버레이 표면에 45도 입사각으로 빔을 비추어 작동하며 빔의 일부는 오버레이 표면에서 다시 반사됩니다. 다른 부분은 덮개를 관통하고 덮개-기판 인터페이스에서 다시 반사됩니다. 현미경 접안렌즈에서 두 개의 개별 이미지를 볼 수 있으며 거리는 오버레이의 두께에 비례하며 거리는 눈금 조절 손잡이를 조정하여 측정할 수 있습니다.
이 방법은 현미경에서 선명한 이미지를 얻기 위해 충분한 빛이 코팅-기판 인터페이스에서 다시 반사되는 경우에만 사용할 수 있습니다.
양극 산화 필름과 같은 투명 또는 반투명 오버레이의 경우 이 방법은 비파괴적입니다. 불투명한 커버층의 두께를 측정하기 위해서는 커버층의 작은 조각을 제거해야 커버층의 표면과 기판 사이에 광선을 굴절시킬 수 있는 단차가 형성되므로 절대값 커버 레이어의 두께를 측정할 수 있습니다. 이 경우 방법은 파괴적인 테스트 방법입니다.
2빔 현미경의 측정 오류는 일반적으로 10% 미만입니다.
