근거리장 광학현미경의 원리
Traditional optical microscopes are composed of optical lenses that can magnify objects to thousands of times to observe details. Due to the diffraction effect of light waves, it is impossible to increase the magnification infinitely because it will encounter the obstacle of the diffraction limit of light waves. Traditional optics The resolution of a microscope cannot exceed half the wavelength of light. For example, using green light with a wavelength of λ=400nm as a light source, it can only distinguish two objects that are 200nm apart. In practical applications, λ>400nm, the resolution is lower. This is because general optical observations are performed far away from the object (>>λ).
근접장 광학현미경은 비방사장의 검출 및 이미징 원리를 바탕으로 일반 광학현미경의 회절한계를 뛰어넘어 초고해상도에서 나노규모 광학 이미징 및 나노규모 스펙트럼 연구를 수행할 수 있습니다.
근거리 광학 현미경은 프로브, 신호 전송 장치, 스캐닝 제어, 신호 처리 및 신호 피드백 시스템으로 구성됩니다. 근거리장 생성 및 감지 원리: 입사광은 표면에 작은 구조가 많은 물체에 조사됩니다. 입사광장의 작용에 따라 이러한 구조에 의해 생성된 반사파에는 물체 표면에 국한되어 멀리 전파되는 소멸파가 포함됩니다. 전파되는 파도. 소멸파는 물체(파장보다 작은 물체)의 작은 구조에서 발생합니다. 전파파는 물체(파장보다 큰 물체)의 거친 구조에서 나오며 물체의 미세 구조에 대한 정보는 전혀 포함되어 있지 않습니다. 매우 작은 산란 중심을 나노검출기(예: 프로브)로 사용하여 물체 표면에 충분히 가깝게 배치하면 소멸파가 여기되어 다시 빛을 방출하게 됩니다. 이 여기된 빛에는 감지할 수 없는 소멸파와 감지를 위해 먼 위치로 전파될 수 있는 전파파도 포함되어 있습니다. 이 프로세스로 근거리 감지가 완료됩니다. 소멸 장과 전파 장 사이의 변환은 선형이며, 전파 장은 소멸 장의 변화를 정확하게 반영합니다. 산란중심을 이용하여 물체의 표면을 스캔하면 2차원 영상을 얻을 수 있다. 상호성의 원리에 따라 조명 광원과 나노 검출기의 역할이 바뀌고, 나노 광원(소멸장)을 사용하여 시료를 조명합니다. 조명 필드에 대한 물체의 미세 구조의 산란 효과로 인해 소멸파는 멀리서 감지할 수 있는 신호로 변환됩니다. 감지된 전파파의 결과는 정확히 동일합니다.
