전략적 신흥산업인 LED에 현미경 적용
LED(Light Emitting Diode, 줄여서 LED)는 Light Emitting Diode의 약자입니다. 2009년 하반기부터 LED 시장은 큰 도약을 경험했다. 고성장 신흥 산업으로 2015년까지 LED 산업 규모는 일반 조명 산업 1,600억 위안, 대형 LCD TV 백라이트 산업 1,200억 위안, 자동차 조명 산업 200억 위안, 일반 조명 산업 1,600억 위안, 조경, 디스플레이 및 기타 산업 1,000억 위안 등 총 5,000억 위안을 넘어설 것으로 예상됩니다.
LED 산업 체인은 크게 업스트림 기판 성장, 에피택셜 웨이퍼 제조, 미드스트림 칩 패키징, 다운스트림 애플리케이션 제품 등 세 부분으로 나눌 수 있습니다. 전체 산업 체인에서 핵심 부분은 기판 성장과 에피택시 웨이퍼 제조이며, 이는 상대적으로 높은 기술 함량을 가지며 업계 생산량과 이익의 거의 70%를 차지합니다.
LED 산업의 현재 발전 추세는 국제 시장과 국내 시장 모두에 의해 영향을 받습니다. 국가 반도체 조명 프로젝트(National Semiconductor Lighting Project)에 힘입어 중국의 LED 산업은 초기에 LED 기판 재료 업스트림, LED 에피택셜 웨이퍼 생산, LED 칩 준비, LED 칩 패키징, LED 제품 적용 등 비교적 완전한 산업 체인을 형성했습니다.
잘 알려진 바와 같이, 반도체 발광다이오드는 변환효율이 높고, 수명이 긴 등의 장점을 갖고 있으며, 현재 사용되고 있는 기존 광원을 대체할 차세대 광원으로 주목받고 있다. 그러나 현재의 발광다이오드 성능을 볼 때, 이러한 목표를 달성하기 위해서는 여전히 극복해야 할 기술적인 어려움이 많이 남아 있으며, 재료 분석 및 특성화, 소자 분석 기술 등의 측면에서 연구 노력이 더욱 강화되어야 한다. 광학현미경, 주사전자현미경, X-선 에너지 분석기, 2차 이온 질량 분석기 및 기타 장비는 발광 다이오드 장치의 패키징 구조와 칩의 구조, 구성 및 인터페이스 조건에서 에피택셜 공정을 모니터링, 개선 및 강화할 뿐만 아니라 장치 고장 및 구조 분석을 위한 필수 분석 도구가 되었습니다.
