주사전자현미경과 레이저공초점현미경의 차이점
레이저공초점현미경과 주사전자현미경은 모두 점별 주사이미징이며, 주사구동범위를 조절하여 배율을 조절한다. 레이저 공초점 현미경은 레이저 스캐닝을 통해 작동하며 3차원 이미지를 얻을 수 있습니다. 주사전자현미경은 미세하게 집중된 전자빔에 의해 여기된 다양한 물리적 신호를 사용하여 시료 표면을 스캔하여 이미징을 변조합니다. 2차원 이미지만 얻을 수 있고, 3차원 이미지는 얻을 수 없습니다.
1. 한계 분해능이 다릅니다(증폭된 신호 소스가 다릅니다).
레이저 공초점: 최종 해상도 150nm
주사전자현미경: 20nm~0.8nm
2. 다양한 스캐닝 구동 방법
레이저 공초점: 레이저 회전 거울이 레이저 스캐닝 범위와 스캐닝 속도를 제어합니다.
주사전자현미경: 전자기 코일은 전자빔의 주사 범위와 주사 속도를 제어합니다.
3. 다양한 스테레오 이미징
레이저 공초점: 샘플은 나노미터 정밀도의 스테핑 모터를 통해 Z축 방향으로 층별로 이미징되며, 소프트웨어는 설정된 각 층의 이미지를 선명한 3차원 이미지로 합성합니다.
주사전자현미경: 단일 프레임 이미지는 피사계 심도가 크고 2차원 이미지입니다.
4. 적용 범위가 다릅니다.
레이저 공초점 : 수회~수천회
주사전자현미경 : 수회 ~ 수십만회
5. 근무환경이 다르다
공초점 레이저: 대기 환경에서 샘플 테스트 가능
주사 전자 현미경: 고진공 환경에서 샘플 테스트
