공초점현미경, 광학현미경, 측정현미경의 차이점
공초점현미경 소개
공초점 현미경의 작동 원리는 "공초점" 개념을 기반으로 합니다. 즉, 대물 렌즈의 초점면에 있는 점만 명확하게 이미지화할 수 있고 초점면 외부의 점은 제외됩니다. 이는 공초점 조리개(핀홀)와 같은 특수 광학 시스템을 사용하여 달성됩니다. 공초점 현미경에서는 광원(보통 레이저)을 시료에 조사한 다음 시료에서 반사되거나 방출되는 빛을 수집합니다. 초점면의 빛만 공초점 조리개를 통과할 수 있고 다른 위치의 빛은 차단되어 매우 선명한 초점면 이미지를 얻을 수 있습니다.
또한, 공초점 현미경은 샘플을 층별로 스캔하고 각 층에 대한 이미지 데이터를 수집한 다음 이 데이터를 사용하여 샘플의 3-형태를 재구성할 수 있습니다. 이 레이어별 스캐닝 방법은 특히 샘플의 수직 방향에서 기존 광학 현미경보다 더 높은 해상도를 제공합니다.
재료 과학, 반도체 산업 등 다양한 분야, 특히 고해상도 및 3D 이미징 기능이 필요한 상황에서 폭넓게 응용됩니다. 측정 특성은 다음과 같습니다.
1. 고정밀 측정: 공초점 현미경은 나노미터 수준의 분해능을 제공하여 매우 작은 샘플 특징을 측정할 수 있습니다.
2. 3차원 형태: 다양한 깊이 수준에서 샘플을 스캔함으로써 공초점 현미경은 샘플의 3차원 이미지를 생성할 수 있으며, 이는 샘플의 3차원 구조를 분석하는 데 매우 유용합니다.-
3. 표면 거칠기 분석: 공초점 현미경은 시료의 표면 거칠기를 정확하게 측정하고 분석할 수 있습니다. 강력한 수직 깊이 해상도 기능을 갖추고 있어 작은 물체의 이미지 형태 세부 정보를 명확하게 표시하고 미세한 세부 이미지를 표시하며 경사가 큰 제품에 대해 더 나은 이미징 효과를 제공합니다. 이는 재료 과학 및 엔지니어링 응용 분야에 매우 중요합니다.
4. 소프트웨어 분석 도구: 현대 공초점 현미경에는 일반적으로 거리, 부피, 모양 및 질감 분석과 같은 다양한 측정 및 분석을 수행할 수 있는 특수 소프트웨어가 장착되어 있습니다.
5. 다양한 재료에 적합: 공초점 현미경은 금속, 플라스틱, 반도체 재료를 포함한 다양한 유형의 재료를 측정하는 데 사용할 수 있습니다.
